パターンマッチングの位置決め精度の評価方法

パターンマッチングの位置決め精度の評価方法の資料です。

measuringpatmaxaccuracy-0828j.pdf

追加コメント：

2つのマークの両方が十字マークだと、同じ方向にずれる可能性があるので、正しい精度を測定できない。

フィデューシャルマークだと精度が良すぎる可能性がある。または、資料のように、棒付きの円と、十字マークを使う。

バックライトだと、基板の角など、輪郭がなまって映ってしまい、Fine の精度が出ない可能性がある（Coarse を手動で小さくすると精度が上がる）。